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激光測振儀、干涉儀
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封閉式干涉式激光尺利用微型激光干涉儀,以工業應用中最重要的線型標定為核心,將光學相干光路等集成在單個光電芯片上,一步實現激光干涉儀的線型測長和標定功能,從而簡化了干涉儀系統測試時的復雜程度。
MetriLiDAR MM-X系列微型激光干涉儀將參考光路內置于干涉儀中,將光學相干光路等集成在單個光電芯片上,一步實現激光干涉儀的線型測長和標定功能,從而簡化了干涉儀系統測試時的復雜程度。
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