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過程控制和傳感器
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原位程序升溫化學吸附分析儀LoC-TPA 4000以MEMS自控溫諧振式微懸臂梁傳感芯片為檢測核心,摒棄在尾氣氣路中檢測氣體分子的方法,實現原位實時的程序升溫分析功能。
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